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PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
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PTB-F-47 |
Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems : Bericht über das BMBF-Vorhaben 13N7643/6 |
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| Autor(en): | , , und |
| Herausgeber: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
| Report Typ: | PTB-Report |
| Jahr: | 2003 |
| Seite(n): | 100 S., 66 tw. farbige Abb. |
| Verschiedenes: | 17,00 EUR |
| ISBN: | ISBN 3-86509-064-8 |
| ISSN: | ISSN 0179-0609 |
| Zusammenfassung: | Im Zentrum dieses Projekts steht das innovative Konzept eines kompakten Sensor-Objektivs, das gleichzeitig als konventionelles Mikrospobjektiv und als SFM- und nachfeld-optischer Mikroskopkopf verwendet werden kann. Dieses Sensor-Objektiv basiert auf einem Spielobjektiv, welches direkt in den Revolver eines optischen Standardmikroskops eingeschraubt werden kann. Zusätzlich enthält es eine kompakte Rasterkraftmikroskop-(SFM)- Sensoreinheit. Das damit realisierbare Prinzip eines austauschbaren Messkopfes ist die Grundlage aller Entwicklungen in diesem Vorhaben. Das gilt sowohl für den Raum- als auch für den Tieftempearturaufbau. In allen Messsystemen lassen sich wahlweise Standardobjektive und unsere Sensor-Objektive einsetzen. Es wurden drei Prototypen des Sensor-Objektivs in verschiedenen Versionen aufgebaut und getestet. |
| Bemerkung: | Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems : Bericht über das BMBF-Vorhaben 13N7643/6 ; (PTB-Bericht PTB-F-47) |
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-11-17, WEB-Redaktion
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