Publikationen > Reihen > PTB-Berichte > Verzeichnis der PTB-Berichte > PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
PTB-Berichte Fertigungsmesstechnik (F)
Publikations Einzelansicht
PTB-F-50 |
Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal |
|---|---|
| Autor(en): | und |
| Herausgeber: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt |
| Report Typ: | PTB-Report |
| Jahr: | 2005 |
| Seite(n): | 32 S., 32 tw. farb. Abb., 4 Tab. |
| Verschiedenes: | € 10,00 |
| ISBN: | ISBN 3-86509-283-7 |
| Zusammenfassung: | Es wird über Vergleichmessungen zwischen optischen Koordinaten-messgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal berichtet. Die Ergebnisse verdeutlichen den Stand der Technik bei der Messung komplexer 2D-Konturen mit optischen KMG. Die Referenzmessungen erfolgten mit einem Masken- und Wafer-Metrologiesystem. Es wurde experimentell nachgewiesen, dass die Qualität der Chromkanten einen entscheidenen Einfluss auf die Vergleichbarkeit von Messungen im Auflichtmodus und im Durchlichtmodus hat. |
| Bemerkung: | Vergleichsmessungen mit optischen Koordinatenmessgeräten an einem speziellen 2D-Konturnormal ; (PTB-Bericht PTB-F-50) |
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-11-17, WEB-Redaktion
Druckansicht, 
PDF