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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Interferometrie an prismatischen Körpern

Arbeitsgruppe 5.44

Profil

Zur höchstgenauen Darstellung der Länge von Maßverkörperungen wurden und werden in der AG 5.44 spezielle abbildende Interferometer entwickelt, aufgebaut und betrieben. Die Messungen der absoluten Länge in Abhängigkeit von der Temperatur und Messzeit ermöglicht extrem genaue Untersuchung des thermischen Ausdehnungsverhaltens und der Langzeitstabilität von Materialien. Unser Anspruch ist hierbei, den sub-Nanometerbereich immer sicherer zu beherrschen, um den Anforderungen der Industrie hinsichtlich geringer werdender Toleranzen zu begegnen.

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Forschung/Entwicklung

Der Schwerpunkt der Forschungs- und Entwicklungsarbeit besteht zunächst in der Weiterentwicklung der abbildenden Interferometrie mit dem Ziel die Länge prismatischer Maßverkörperungen, entsprechend den Anforderungen, immer genauer messen zu können. Die sich hieraus ergebenden Erkenntnisse kommen sowohl den im Rahmen von Sondermessungen angebotenen Dienstleistungen der AG 5.44 zugute und bilden die Grundlage für die kontinuierliche Verbesserung der Interferometer der Arbeitsgruppe 5.43 "Interferomeetrische Kalibrierung von Parallelendmaßen". Zum anderen stehen die neu entwickelten Interferometer (Beispiel: Ultrapräzisionsinterferometer) für die Untersuchung von Materialeigenschaften wie thermische Ausdehnung und Langzeitverhalten als weltweit einzigartige Messeinrichtungen zur Verfügung.

Projekte mit externer Beteiligung

2011-2015

EMRP, Research Project: JRP NEW09 METCO "Metrology of electrothermal coupling for new functional materials technology", WP3: "High Accuracy Absolute Length Measurement of Electromechanical and Thermoelastic Coupling", WP-Leiter: G. Bartl, Bearbeitung: T. Quast

EMRP, Research Project: JRP IND13 T3D “Thermal design and time-dependent dimensional drift behaviour of sensors, materials and structures", WP2: "Time and temperature dependent behaviour of materials, structures, sensors and joints ", WP-Leiter: R. Schödel, Bearbeitung: H. Lorenz

ESA-Projekt 4000101042/10/NL/PM: "Characterisation of Ultra-Stable Materials at Cryogenic Temperature; Teil 2", Projektleiter: R. Schödel, Bearbeitung: T. Middelmann

Industrieprojekt mit Ohara Inc. Japan: "Einfluss von Bearbeitungsprozessen auf die Langzeit-Stabilität von Glaskeramiken: Teil 4 ", Projektleiter: R. Schödel

PTB-Projekt im Rahmen des Größtgerätes "Beidseitig antastendes Interferometer zur Messung der absoluten Länge von Endmaßen", Projektleiter: R. Schödel, Bearbeitung: K. Rau

ESA-Projekt 4000101042/10/NL/PM: "Characterisation of Ultra-Stable Materials at Cryogenic Temperature: Teil 1", Projektleiter: R. Schödel, Bearbeitung: A. Walkov, G. Bartl, M. Zenker

 

2003-2010

Promotionsstipendium der Ägyptischen Mission / PTB-Doktorandenprogramm: "Beidseitig antastendes Interferometer zur Messung der absoluten Länge von Endmaßen; Prototyp", Projektleiter: R. Schödel, Bearbeitung: A. Abdelaty

Industrieprojekt mit SEMATECH INTERNATIONAL"Untersuchung verschiedener Substratmaterialien für die EUV-Lithographie", Projektleiter: R. Schödel

Industrieprojekt mit OHARA Inc., Japan: "Wissenschaftliche Zusammenarbeit auf dem Gebiet der Langzeitstabilität von Glaskeramik", Projektleiter: R. Schödel

Industrieprojekt mit Berliner Glas KgaA: "Einfluss der Probenpräparation auf die thermischen Ausdehnungseigenschaften verschiedener Materialien", Projektleiter: R. Schödel

Industrieprojekt mit Zeiss SMC und Schott AG "Ein Messgerät zur Messung des thermischen Ausdehnungskoeffizienten (CTE) von hochkonstanten Materialien für die EUV-Lithographie", Projektleiter:  U. Sterr, R. Schödel

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Dienstleistungen

Auf Anfrage werden Sondermessungen zum thermischen Ausdehnungsverhalten von Materialien im Temperaturbereich 10°C bis 40°C bzw. 10 K bis ca. 300 K angeboten.

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Informationen

  • Diese und weitere Publikationen finden Sie in unserer Datenbank: PTB-Publica

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