Die an der PTB entwickelte Simulationsumgebung zur Durchführung virtueller Messung für die optische Formmetrologie wurde weiterentwickelt und zur Bestimmung der Genauigkeit eines neuen (deflektometrischen) Ebenheitsstandards angewendet. Als Ergebnis konnte gezeigt werden, dass der neue Standard Messunsicherheiten von unter 1 Nanometer selbst für große Prüflinge ermöglicht.
Ansprechpartner:
M. Stavridis, FB 8.4;
G. Ehret, FB 8.2
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