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Nachrichten aus der Abteilung 8
Mathematik für neues EMRP Projekt „Scatterometry“
Der Fachbereich „Mathematische Modellierung und Datenanalyse“ wird einen wesentlichen Beitrag für das Forschungsprojekt „Form Metrology“ im Bereich der Datenanalyse leisten. Dieses Projekt wurde im Rahmen des Calls „Industry“ im European Metrology Research Programme (EMRP) zur Förderung ausgewählt, und es wird wichtige messtechnische Herausforderungen bei der Charakterisierung von Nanostrukturen für die Herstellung von elektronischen und optischen Bauelementen bearbeiten.
Ansprechpartner:
M. Bär© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2012-01-11, Webmaster Abteilung 8
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