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Nachrichten aus der Abteilung 8
Statistisches Verfahren zur Auswertung scatterometrischer Messungen
Die Maximum-Likelihood-Methode zur Bestimmung der Messunsicherheiten in der Scatterometrie wurde so erweitert, dass auch systematische Beiträge zur Messunsicherheit, wie sie z.B. Linienrauhigkeiten verursachen, berücksichtigt werden. Die verbesserte Methode wurde auf Messdaten des DUV-Scatterometers der PTB angewandt um die auftretenden Messunsicherheiten zu quantifizieren.
Ansprechpartner:
M.-A. Henn, FB 8.4; H. Groß, FB 8.4; C. Elster, FB 8.4; M. Bär, FB 8.4
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2012-01-11, Webmaster Abteilung 8
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