Fachabteilungen > Abt. 8 Medizinphysik und metrologische Informationstechnik > 8.4 Mathematische Modellierung und Datenanalyse > 8.42 Datenanalyse und Messunsicherheit > Erarbeitung referenzfreier Geradheitsmessverfahren
Projekt
Erarbeitung referenzfreier Geradheitsmessverfahren
05/2008 - 12/2010
Der PTB Nanometerkomparator ermöglicht Längenmessungen mit einer Genauigkeit im Nanometerbereich. In diesem Projekt soll ein Messverfahren entwickelt werden, das zusätzlich und gleichzeitig zur Längenmessung eine Geradheitsmessung mit Unsicherheiten im Nanometerbereich ermöglicht. Das Verfahren beruht auf scannenden interferometrischen Messungen sowie der mathematischen Modellierung systematischer Abweichungen der Interferometermessungen und Einflüssen einer nicht perfekten Führung. Dieses Projekt ist Teil des 
BMBF-Verbundvorhabens CDuR32
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-10-13, Webmaster Abteilung 8
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