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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 8 Medizinphysik und metrologische Informationstechnik 8.4 Mathematische Modellierung und Datenanalyse8.41 Modellierung und Simulation > Mathematische Modellierung und Auswerteverfahren für die Scatterometrie
Projekt

05/2008 - 12/2010




Die scatterometrischen Messverfahren der PTB ermöglichen eine indirekte Messung kritischer Strukturgrößen von lithografischen Masken mit einer Genauigkeit im Nanometerbereich. Die dazu erforderlichen mathematischen Modellierungen und Auswerteverfahren zur Lösung des inversen Problems werden in Zusammenarbeit mit dem Weierstrass-Institut für angewandte Analysis und Stochastik weiter entwickelt. Dabei werden auch die Messunsicherheiten von scatterometrischen Verfahren mit Hilfe von mathematischer Modellierung  bestimmt.  Dieses Projekt ist Teil des BMBF-Verbundvorhabens CDuR32.


© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-10-13, Webmaster Abteilung 8 Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF