Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Die Arbeitsgruppe betreibt im PTB-Laboratorium bei BESSY II ein Strahlrohr für weiche Röntgenstrahlung im Spektralbereich von 0,7 nm bis 35 nm (35 eV bis 1850 eV). Dies schließt den Bereich der extremen UV-Strahlung (EUV) um 13,5 nm ein. An diesem Strahlrohr ist das EUV-Reflektometer (Video 16 MB) installiert. Zur Messung der spektralen Empfindlichkeit von Detektoren wird ein elektrisches Substitutionsradiometer als primäres Empfängernormal verwendet. Die wesentlichen Arbeitsgebiete der Gruppe sind:

• EUV-Reflektometrie
• Bereitstellung von Metrologie für die Entwicklung der EUV-Lithographie in umfangreichen Kooperationen mit Industriepartnern wie z. B. der Carl Zeiss SMT AG
• Reflexions- und Transmissionsgradmessungen
• Messung der spektralen Empfindlichkeit von Detektoren
• Scatterometrie

Darüber hinaus werden

• die undispergierte Strahlung von BESSY II als primäres Strahlernormal zur Kalibrierung energiedispersiver Röntgendektoren verwendet
• Materialeigenschaften wie z. B. Absorptionskoeffizienten gemessen
• Partner aus der Industrie bei der Entwicklung von EUV-Labormesstechnik beraten