Physikalisch-Technische Bundesanstalt

In klimatisierten Räumen werden die Technologie und spezielle Strategien für das Polieren von ebenen und sphärischen Werkstücken aus spröden Werkstoffen wie Silizium-Einkristallen, Zerodur und anderen Gläsern erarbeitet. Wir entwickeln Polierstrategien für seltene Metalllegierungen, überwiegend zum Einsatz in der Messtechnik.

Eine unserer Aufgaben ist die Mitarbeit an der Fertigung einer 1-kg-Siliziumkugel höchster Genauigkeit. Die angestrebte Formgenauigkeit soll 100 nm unterschreiten und die Rauheit der Oberflächen soll im Subnanometerbereich liegen. Es wurden bereits erfolgreich kontaminationsfreie Kugeln zu Bestimmung der Masse und Dichte gefertigt.