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Mikroelemente
Die zunehmende Miniaturisierung von Baugruppen und Bauteilen erfordert neue Fertigungsmethoden.
Aufgaben:
- Entwicklung von Füge- und Verbindungstechnologien für miniaturisierte Bauteile und Baugruppen
- Entwicklung von Fertigungsmaschinen und –Methoden für mikromechanische Komponenten
- Handhabung und Montage kleinster Bauteile und Baugruppen, auch im REM
- Untersuchung und Entwicklung von Fertigungs- und Montagevorgängen, insbesondere das Fügen
Ausstattung:
- Mehrachs-Bearbeitungsmaschine für Einsatz im REM
- Großkammer-Elektronen-Rastermikroskop mit RE- und SE-Detektor, EDX
- REM Zeiss DSM 960 mit RE-, SE- und Channelplate-Detektor
- Umfangreiche Messtechnik mit vision, motion und DAQ
- Laminar-Flow-bench für Reinraumbedingungen bis Klasse 100
- Niederdruckplasmaanlage mit Möglichkeit zum Reinigen, Aktivieren und Ätzen
- Sputter coater
Mikromontageroboter im GK-REM
Rubin Tetraeder Kugel-Durchmesser 110 µm
Kinematik des zum Patent angemeldeten 6-Achs-Montageroboters
Versuchsaufbau für hochgenaues Positionieren mit Inkrementen im nm-Bereich
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-11-17,
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