Interferometrie an prismatischen Körpern
Arbeitsgruppe 5.44
Forschungsvorhaben
Aktuelle Projekte 2012
- PTB-Projekt im Rahmen eines Größtgerätes:
"Beidseitig antastendes Interferometer zur Messung der absoluten Länge von Endmaßen"
Projektleiter:
R. Schödel
Bearbeitung:
K. Rau
Den Stand der Technik zur interferentiellen Längenmessung von Maßverkörperungen stellen überwiegend Komparatoren mit Zweistrahl-Phasenverschiebungsinterferometrie unter Verwendung von Anschubplatten dar. Diese Interferometer können so weit optimiert werden, dass die Messunsicherheit im wesentlichen durch den Einfluss der Wechselwirkung des Endmaßes mit der Anschubplatte begrenzt wird.
Um eine weitere Reduzierung der Unsicherheit der absoluten Längenmessung von Maßverkörperungen zu erreichen, bieten sich beidseitig antastende Interferometer an.
Im Rahmen dieses Projektes soll ein Doppel-Zweistrahlinterferometer aufgebaut werden. Die Grundidee hierzu geht auf Dorenwendt [1] zurück und wurde von Kuriyama et al. [2] erweitert. Aufgrund der hier entgegen gesetzten Symmetrie der Messungen addiert sich der Phasensprung bei der Reflexion an beiden Frontflächen im Gegensatz zur traditionellen Methode (Endmaß auf Anschubplatte). Ein wichtiger Teil dieses Projektes werden demnach vergleichende Untersuchungen sein, welche die Grenzen des beidseitig antastenden Verfahrens ergründen sollen.
- K. Dorenwendt. " Interferentielle Messung von nicht angeschobenen Parallelendmaßen" PTB Jahresbericht 1972, S. 121
- Y. Kuriyama, Y. Yokoyama, Y. Ishii, J. Ishikawa. Development of a new interferometric measurement system for determining the main characteristics of gauge blocks. Annals of the CIRP Vol. 55/1/2006.


© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2012-03-08,
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