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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 5 Fertigungsmesstechnik 5.4 Interferometrie an Maßverkörperungen5.44 Interferometrie an prismatischen Körpern > Forschungsvorhaben
Interferometrie an prismatischen Körpern
Arbeitsgruppe 5.44


Forschungsvorhaben

 

Aktuelle Projekte 2012

  • EMRP, Research Projects:
    "JRP IND13, T3D: Thermal design and time-dependent dimensional drift behaviour of sensors, materials and structures"

    WP2: "Time and temperature dependent behaviour of materials, 
                 structures, sensors and joints "

    WP3: " Development of accurate, traceable, reliable temperature
                 measurement systems with long-term stability

    WP-Leiter:    R. Schödel
    Bearbeitung: H. Lorenz



  • ESA-Projekt: European Agency, Netherlands:
    "Characterisation of Ultra-Stable Materials at Cryogenic Temperature; Teil 2"
    Projektleiter: R. Schödel



  • Industrieprojekt; Ohara Inc. Japan:
    "Einfluss von Bearbeitungsprozessen auf die Langzeit-Stabilität von Glaskeramiken: Teil 4 "

    Projektleiter: R. Schödel

    In diesem Projekt geht es um die Untersuchungen der Stabilität verschiedener Glaskeramiken direkt nach dem Herstellungsprozess. Neben dieser primären Fragestellung wird untersucht, welches Material sich am besten für weiterführende Untersuchungen zum Brechungsindex von Gasen eignet.
    (siehe Längenrefraktometer)



  • PTB-Projekt im Rahmen eines Größtgerätes:
    "Beidseitig antastendes Interferometer zur Messung der absoluten Länge von Endmaßen"

    Projektleiter: R. Schödel
    Bearbeitung: K. Rau


    Den Stand der Technik zur interferentiellen Längenmessung von Maßverkörperungen stellen überwiegend Komparatoren mit Zweistrahl-Phasenverschiebungs­interferometrie unter Verwendung von Anschubplatten dar. Diese Interferometer können so weit optimiert werden, dass die Messunsicherheit im wesentlichen durch den Einfluss der Wechselwirkung des Endmaßes mit der Anschubplatte begrenzt wird.
    Um eine weitere Reduzierung der Unsicherheit der absoluten Längenmessung von Maßverkörperungen zu erreichen, bieten sich beidseitig antastende Interferometer an.
    Im Rahmen dieses Projektes soll ein Doppel-Zweistrahlinterferometer aufgebaut werden. Die Grundidee hierzu geht auf Dorenwendt [1] zurück und wurde von Kuriyama et al. [2] erweitert. Aufgrund der hier entgegen gesetzten Symmetrie der Messungen addiert sich der Phasensprung bei der Reflexion an beiden Frontflächen im Gegensatz zur traditionellen Methode (Endmaß auf Anschubplatte). Ein wichtiger Teil dieses Projektes werden demnach vergleichende Untersuchungen sein, welche die Grenzen des beidseitig antastenden Verfahrens ergründen sollen.


    1. K. Dorenwendt. " Interferentielle Messung von nicht angeschobenen Parallelendmaßen" PTB Jahresbericht 1972, S. 121

    2. Y. Kuriyama, Y. Yokoyama, Y. Ishii, J. Ishikawa. Development of a new interferometric measurement system for determining the main characteristics of gauge blocks. Annals of the CIRP Vol. 55/1/2006.

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Abgeschlossene Projekte seit 2003

  • PTB-Doktorandenprogramm:
    "Beidseitig antastendes Interferometer zur Messung der absoluten Länge von Endmaßen; Prototyp"


    Promotionsstipendium der Ägyptischen Mission

    Projektleiter: R. Schödel
    Doktorandin:       A. Abdelaty;  03/2007 - 02/2012


  • ESA-Projekt: European Space Agency, Netherlands:
    "Characterisation of Ultra-Stable Materials at Cryogenic Temperature: Teil 1"

    Projektleiter: R. Schödel
    Bearbeitung:       07/2010 - 01/2012



  • Industrieprojekt, SEMATECH INTERNATIONAL
    "Untersuchung verschiedener Substratmaterialien für die EUV-Lithografie"
    Projektleiter: R. Schödel
    Bearbeitung:       6/2004 - 6/2008

     
  • Industrieprojekt; OHARA Inc., Japan:
    "Wissenschaftliche Zusammenarbeit auf dem Gebiet der Langzeitstabilität von Glaskeramik; Teil 1 - 3"

    Projektleiter: R. Schödel
    Bearbeitung:       08/2005-12/2011


  • Industrieprojekt; Berliner Glas KgaA:
    "Einfluss der Probenpräparation auf die thermischen Ausdehnungseigenschaften verschiedener Materialien"

    Projektleiter: R. Schödel
    Bearbeitung:      12/2003-12/2005

  • Industrieprojekt; Zeiss SMC und Schott:
    "Ein Messgerät zur Messung des thermischen Ausdehnungskoeffizienten (CTE) von hochkonstanten Materialien für die EUV-Lithographie"
    Projektleiter:  U. Sterr, R. Schödel
    Bearbeitung:        01/2003-12/2004

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© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2012-03-08,  Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF