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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 5 Fertigungsmesstechnik 5.4 Interferometrie an Maßverkörperungen5.43 Interferometrische Kalibrierung von Parallelendmaßen > Parallelendmaße
Interferometrische Kalibrierung von Parallelendmaßen
Arbeitsgruppe 5.43

Parallelendmaße

 


Abb. 1:

Parallelendmaße sind die genauesten und einfachsten Maßverkörperungen der Länge, die man zur Weitergabe der Längeneinheit Meter an die Industrie benutzt. Sie sind von quaderförmiger Gestalt und bestehen aus verschleißfestem Werkstoff, z.B. Stahl, Wolframcarbid oder Keramik. Sie werden in speziell abgestuften Längen zu Endmaßsätzen zusammengestellt, so daß sich durch Kombination nur weniger Endmaße jede Länge im Bereich von 2 mm bis 200 mm in Schritten von 1µm realisieren läßt.



Die Endmaß-Messflächen lassen sich mit hoher Genauigkeit eben, parallel und mit sehr feiner Politur herstellen. Die damit verbundenen optischen Eigenschaften gestatten es, die Längeneinheit Meter mit dem Messprinzip der Lichtinterferenz in einem direkten Messverfahren auf ein Parallelendmaß zu übertragen.
Für die fundamental-interferentiellen Messungen des Labors werden modifizierte Michelson-Interferometer verwendet. Als Wellenlängennormale dienen frequenzstabilisierte Laser im grünen, orangen, roten und nah-infraroten Spektralbereich.

Als weitere, kostengünstigere Möglichkeit für die Rückführbarkeit (traceability) auf die Basiseinheit Meter wird für Nennmaße über 200 mm die Kalibrierung durch Unterschiedsmessung angeboten. Dabei wird die Länge von interferometrisch kalibrierten Parallelendmaßen durch mechanische Antastung mittels hochauflösender Sensoren weitergegeben. Die in der PTB kalibrierten Parallelendmaße dienen als Bezugsnormale für die weitere Kalibrier-Hierarchie (z. B. den Deutschen Kalibrierdienst DKD) bis hin zur industriellen Messtechnik.

Kalibrierarten

Endmaße nach DIN EN ISO 3650

    • Interferometrische Kalibrierung bis 200 mm
    • Interferometrische Kalibrierung 200 mm bis 1000 mm
    • Kalibrierung durch Unterschiedsmessung 200 mm bis 1000 mm
      (in Ausnahmefällen bis 4000 mm)
    • Sondermessungen

Informationen zu den Festgebühren für Endmaßkalibrierungen


© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-05-30,  Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF