Fachabteilungen > Abt. 5 Fertigungsmesstechnik > 5.2 Dimensionelle Nanometrologie > 5.25 Rastersondenmetrologie > Kalibrierung und Normale der Rastersondenmikroskopie
Rastersondenmetrologie
Arbeitsgruppe 5.25
Kalibrierung und Normale in der Rastersondenmikroskopie
Durchführung teilweise im Reinraumzentrum der PTB:
Entwicklung von Normalen für die Rastersondenmikroskopie- Kalibrierung von Rastersondenmikroskopen sowie deren Normale
- Selbstkalibrierung und Fehleranalyse von Rastersondenmikroskopen
VDI-Richtlinie zur Grundkalibrierung von Rastersondenmikroskopen© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-01-08,
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