zum Seiteninhalt

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 5 Fertigungsmesstechnik 5.2 Dimensionelle Nanometrologie > 5.25 Rastersondenmetrologie
Rastersondenmetrologie
Arbeitsgruppe 5.25

Aufgaben und Ziele

Ziel der Arbeitsgruppe ist die Entwicklung und Verbesserung von Messtechnik, insbesondere von Rastersondenmikroskopen, für die dimensionelle Messung für den Anwendungsbereich der Nanotechnologie. Hierzu zählt neben dem Aufbau von höchstauflösenden, rückführbaren Messgeräten, die Entwicklung von Normalen und Messverfahren zur Kalibrierung von Geräten in Forschung und Industrie.
Die Forschungsschwerpunkte sind:

  • Entwicklungen eines höchstauflösenden Rasterkraftmikroskops (SFM)
  • Untersuchung hysteresefreier Scannersysteme
  • Entwicklung lateral hochauflösender Antastsysteme
  • Aufbau und Optimierung von Messmöglichkeiten der NanoMessMaschine
  • Kalibrieren von Normalen auf höchstem Niveau

Kontakt

Leitung


Dr.-Ing. Hans-Ulrich Danzebrink
Tel.: +49 531 592-5136
Fax: +49 531 592-5205
E-Mail: hans-ulrich.danzebrink@ptb.de



Sekretariat


Christina Müller
Tel.: 0531 592-5201
Fax: 0531 592-5205
E-Mail: christina.mueller@ptb.de



Anschrift


Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Arbeitsgruppe 5.25
Bundesallee 100
38116 Braunschweig

© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-02-12,  Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF