Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Ansprechpartner

• Dr. Gaoliang Dai
  Leitung der Arbeitsgruppe
  Tel.: 0531 592-5127
  Email: gaoliang.dai@ptb.de
  
  
• Dr. rer. nat. Carl Georg Frase
  Rasterelektronenmikroskopie, Monte-Carlo Simulationen,
  Grundlagenuntersuchungen
  Tel.: 0531 592-5186
  Email: carl.g.frase@ptb.de
  
  
• Dipl.-Phys. Wolfgang Häßler-Grohne
  Masken-Kalibrierungen, Sondermessaufgaben, Verfahrens- und Geräteentwicklung
  Tel.: 0531 592-5112
  Email: wolfgang.haessler-grohne@ptb.de
  
  
• Dipl.-Ing. (FH) Kai Hahm
  SW-Entwicklung, Geräteentwicklung und -optimierung
  Tel.: 0531 592-5189
  Email: kai.hahm@ptb.de
  
  
• Dipl.-Ing. (FH) Bernd Przebierala
  Masken-Kalibrierungen, Finite-Elemente Berechnung der Maskendurchbiegungen, Gerätekonstruktion
  Tel.: 0531 592-5114
  Email: bernd.przebierala@ptb.de
  
  
• Karsten Fromm
  Konstruktion, Fertigung und Erprobung von mechanischen Baugruppen
  Tel.: 0531 592-5106
  Email: karsten.fromm@ptb.de
  
  
• Dr. habil. Dorothee Hüser
  Entwicklung 300 mm AFM
  Tel.: 0531 592-5180
  Email: dorothee.hueser@ptb.de
  
  
• Dr. rer. nat. Klaus-Peter Johnsen
  Rasterelektronenmikroskopie
  Tel.: 0531 592-5113
  Email: klaus-peter.johnsen@ptb.de
  
  
• Dipl.-Phys. Dominic Gnieser
  Rasterelektronenmikroskopie-Simulationen
  Tel.: 0531 592-5113
  Email: dominic.gnieser@ptb.de
  
  

Anmerkung:
Weitere Mitarbeiter sind anteilig für die Arbeitsgruppe 5.22 tätig, so z.B. für die Elektronikpräparation.