Mess- und Kalibriermöglichkeiten
Das Leistungsangebot für Kalibrierungen und Prüfungen ist im Qualitätsmanagementhandbuch aufgeführt. Auf Seite 8 und 9, Positionen 083 bis 090, sind die Werte der Arbeitsgruppe 5.22 zu finden.
1D und 2D-Präzisionsteilungen:
Präzisionsstrichmaßstäbe, Masken, Mikrostrukturen
| Messgröße / Gegenstand | Messverfahren/ | Messbereich | Messunsicherheit (k=2) |
| Teilstrichabstände auf Strichmaßstäben | LMS 2020 | bis 280 mm | Q[10; 0,15L] in nm; |
| Teilstrichabstände auf Objektmikrometern | LMS 2020 | bis 10 mm | 50 nm |
| 2D-Positionen von Mikrostrukturen auf Masken | LMS 2020 | bis 200 mm | Q[10; 0,2L] in nm; |
| Abweichungen von Sollpositionen von Mikrostrukturen auf Masken | LMS 2020 | bis 200 mm | 10 nm |
| Linienbreiten von Mikrostrukturen, optisch in Reflexion | LMS 2020 | > 0,5 µm | > 50 nm |
| Linienbreiten von Mikrostrukturen, REM | EOMS | > 0,1 µm | > 20 nm |
| Mittlere Periodenlängen von Gitterteilungen | EOMS | Periodenlängen > 100 nm | > 1 nm |
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-03-25,
Druckansicht, 
PDF