Fachabteilungen > Abt. 5 Fertigungsmesstechnik > 5.2 Dimensionelle Nanometrologie > 5.22 Maskenmesstechnik
Maskenmesstechnik
Arbeitsgruppe 5.22
Aufgaben
- Entwicklung von Messgeräten und -verfahren für dimensionelle Messungen an 2D-Maßverkörperungen mit Mikrostrukturteilungen
- Untersuchung und Verbesserung von hochauflösenden Messverfahren zur Lokalisierung von Mikro- und Nanostrukturkanten
- Kalibrieren von Photomasken, Objektmikrometern, Gitterteilungen sowie sonstigen ebenen Messobjekten
Kontakt
Arbeitsgruppenleiter | Dr. Gaoliang Dai Tel.: 0531 592-5127 Fax: 0531 592-5205 Email:  gaoliang.dai@ptb.de | |
Sekretariat | Christina Müller Tel.: 0531 592-5201 Fax: 0531 592-5205 Email: christina.mueller@ptb.de | |
Anschrift | Physikalisch-Technische Bundesanstalt Arbeitsgruppe 5.22 Bundesallee 100 38116 Braunschweig |
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-02-12,
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