Fachabteilungen > Abt. 5 Fertigungsmesstechnik > 5.2 Dimensionelle Nanometrologie > 5.21 Längenteilungen > Mess- und Kalibriermöglichkeiten
Längenteilungen
Arbeitsgruppe 5.21
Mess- und Kalibriermöglichkeiten
Längenteilungen auf Strichmaßstäben und 2D Platten:
| Strukturabstände | Nanometer- Komparator | L: 1 mm - 400 mm L: 400 mm - 550 mm L: 550 mm - 1000 mm Abstand der Teilung zur Grundfläche max. 25 mm Abstand der Teilung zur Außenfläche des Objektes max. 160 mm. | 5 nm 10 nm 25 nm |
Inkrementelle Längenmesssysteme:
| Verschiebung | Nanometer- Komparator | L: 1 mm - 400 mm L: 400 mm - 550 mm Abstand der Teilung zur Grundfläche max. 25 mm Abstand der Teilung zur Außenfläche des Objektes max. 160 mm. | Q[2; 2L] in nm; L in m 10 nm |
Laserinterferometer:
| Verschiebung | Nanometer- Komparator | L: 1 mm - 550 mm Kalibrierung bei 20 °C und unter atmosphärischen Bedingungen | Q[2; 2L] in nm; L in m |
Tastermesssysteme:
| Verschiebung | Nanometer- Komparator | L: 1 mm - 250 mm Kalibrierung in horizontaler Lage | 25 nm |
Thermischer Ausdehnungskoeffizient von stabförmigen Körpern:
| Thermischer Expansionskoeffizient von stabförmigen Körpern | Alpha- Messplatz | L: 100 mm - 1300 mm Querschnittsfläche: < 60 mm × 40 mm | 2 ⋅ 10-8 K-1 / Objektlänge in m |
Sonstige Dienstleistungen:
Der Nanometerkomparator kann aufgrund seiner universellen Schnittstellen (Mechanik und Software) für Sensoren auch für andere kundenspezifische Messaufgaben und zur Untersuchung von allen Arten von Verschiebungsmesssystemen eingesetzt werden. Die erreichbaren Messunsicherheiten hängen in diesem Fall stark von der vorliegenden Messaufgabe ab.
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-03-02,
Druckansicht, 
PDF