Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Forschungsthemen

Dimensionelle Metrologie mit dem Nanometerkomparator (nmK):

• Hochgenaue Längenmaßweitergabe auf 1D- und 2D-Objekten.
• Optimierung der Leistungsfähigkeit des Nanometerkomparators.
• Untersuchung von Sensoren (Mikroskope, Abtastköpfe, ...) zur Strukturantastung am Nanometerkomparator.
• Erweiterung des Nanometerkomparators um die Fähigkeit Geradheit von Strukturen auf ebenen Substraten entlang der Messachse im Subnanometerbereich messen zu können.

Längenmessung in der Mikrosystemtechnik:

• Charakterisierung von Längenmesssystemen der Mikrosystemtechnik über Verschiebewege bis 1 mm.
• Zusammenarbeit mit dem Laserzentrum Hannover bei optischen inkrementellen Messsystemen im Rahmen des SFB 516.
• Zusammenarbeit mit dem Institut für Mikrotechnik der Uni Hannover bei magnetischen inkrementellen Messsystemen im Rahmen eines DFG geförderten Projektes.

Optische Interferometrie:

• Entwicklung eines optischen Interferometers zur rückführbaren Bestimmung der Kristallgitterabstände in Silizium im Rahmen des Avogadro-Projektes der PTB.
• Entwicklung der Optik und Elektronik für optische Interferometer für Länge, Winkel und Geradheit.