Fachabteilungen > Abt. 5 Fertigungsmesstechnik > 5.2 Dimensionelle Nanometrologie > 5.21 Längenteilungen
Längenteilungen
Arbeitsgruppe 5.21
Aufgaben
- Entwicklung von Messgeräten und -verfahren für Messungen an ebenen Maßverkörperungen mit eindimensionalen Strukturteilungen
- Kalibrierungen und Untersuchungen an hochpräzisen Strichteilungen, inkrementellen Messsystemen, Messtastern und Laserinterferometern
- Entwicklung von Messverfahren zur Bestimmung der Geradheit von Strukturteilungen auf ebenen Substraten
- Kalibrierung des thermischen Ausdehnungskoeffizienten von stabförmigen Messobjekten
Kontakt
Leitung | Dr. Jens Flügge Tel.: +49 531 592-5261 Fax: +49 531 592-5205 E-Mail:  Jens Flügge | |
| Sekretariat | Christina Müller Tel.: +49 531 592-5201 Fax: +49 531 592-5205 E-Mail: Christina Müller | |
| Anschrift | Physikalisch-Technische Bundesanstalt Arbeitsgruppe 5.21 Bundesallee 100 38116 Braunschweig |
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-03-11,
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