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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 5 Fertigungsmesstechnik > 5.2 Dimensionelle Nanometrologie
Dimensionelle Nanometrologie
Fachbereich 5.2

Aufgaben

Der Fachbereich hat die Aufgabe, auf dem Gebiet der dimensionellen Metrologie an Nanostrukturen sowie an mikro- und nanostrukturierten Maßverkörperungen, Messverfahren, Normale und Messeinrichtungen zu entwickeln und zu optimieren sowie dimensionelle Messgrößen durch Kalibrierung geeigneter Messobjekte weiterzugeben. Mit den vorhandenen Messeinrichtungen können Messungen an mikro- und nanostrukturierten Maßverkörperungen sowie dimensionellen Messsystemen mit Messunsicherheiten im Nanometerbereich durchgeführt werden. Dies gilt in entsprechender Weise für hochpräzise Winkelmesssysteme und Winkelmaßverkörperungen, die mit Messunsicherheiten im Nanoradiant-Bereich charakterisiert werden können. Darüber hinaus ist der Fachbereich in verschiedene Forschungsprojekte im Bereich der Nanometrologie eingebunden.


Arbeitsgruppen


Kontakt

Fachbereichsleiter

Dr. Jens Flügge
Tel.: 0531 592-5200
Email: Jens Flügge

Sekretariat

Christina Müller
Tel.: 0531 592-5201
Fax: 0531 592-5205
Email: Christina Müller

Anschrift

Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Fachbereich 5.2
Bundesallee 100
38116 Braunschweig

© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-03-11,  Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF