Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Messunsicherheit

Ein Messergebnis ist erst dann rückführbar, wenn es mit einer Messunsicherheit versehen ist. Daher ist die Messunsicherheitsberechnung ein wesentlicher Bestandteil einer Messung und verlangt tiefgehende Kenntnis über den Messvorgang und die Größen, die ihn beeinflussen können. In vielen Richtlinien für Geräte der Rauheitsmesstechnik sind daher inzwischen Messunsicherheitsberechnungen als Musterbeispiele aufgenommen, die einem Nutzer helfen, für seinen Anwendungsfall einen Anhalt zur Messunsicherheitsberechnung zu finden.
Die Werte von Kenngrößen der Oberflächenmesstechnik entsprechend  ISO 4287 oder  ISO 5436-1 werden aus einer großen Zahl von Messpunkten (Anzahl >8000) eines Profilschnittes oder einer Flächenabtastung berechnet. Daher ist für alle Tastschnittgeräte und Interferenzmikroskope die Vorgehensweise für die Aufstellung des Modells für die Unsicherheitsberechnung gleich. In einem ersten Schritt wird die Unsicherheit eines einzelnen Punktes berechnet. Dazu werden die für einen Messvorgang relevanten Einflussgrößen summiert, die natürlich je nach Gerät und Messgröße sehr unterschiedlich sein können. Die Unsicherheit des einzelnen Punktes geht im nächsten Schritt neben anderen Einflussgrößen in die Bestimmung der Unsicherheit einer Oberflächenkenngröße ein.