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Härte- und Schichtdickenmesstechnik
Arbeitsgruppe 5.12
Schichtdickenmessungen
Ziel ist die Verbesserung der Messtechnik und Rückführung der Schichtdickenmessung auf eine dimensionelle Größe (Länge, Fläche):
- Schichtdickenmessung mit
topographischen Messverfahren - Schichtdickenmessung an Querschnitten mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM)
- Präparation von Proben für topographische und Querschnitt-Messungen
- Ellipsometrische Schichtdickenmessung im Reinraumzentrum (RRZ) der PTB
- Elektromagnetische Schichtdickenmessung
- Messung der Dicke von Folien
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2012-01-17,
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