Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Normale der Schichtdickenmessung

• Schichtdickennormale im Mikrometerbereich
• Schichtdickennormale im Nanometerbereich

Mikrometer-Schichtdickennormale

Folien-Dickennormale

Folien gleichmäßiger und definierter Dicke können als Schichtdickennormale dienen, wenn sie auf entsprechende Substratoberflächen aufgelegt werden. Sie werden häufig zur Kalibrierung der weit verbreiteten elektromagnetischen Schichtdickenmessgeräte verwendet.
Übliche Ausführungen:

• 10...500 µm aus Kunststoff
• 10...30 µm aus Bronze
• > 500 µm aus Pertinax, Messing

Auf den Normalen ist der Referenzflächenbereich gekennzeichnet.

Beschichtete Substrate

Bei einigen wichtigen Schichtdickenmessverfahren (z.B. Röntgenfluoreszenz-Methode) beinhalten die angezeigten Messwerte materialabhängige Parameter. Zur Kalibrierung dieser Geräte verwendet man Normale, die aus genau denselben Materialien bestehen müssen, wie die bestehende Messaufgabe. Deshalb und wegen der Vielzahl möglicher Materialkombinationen ist es zweckmäßig, dass interessierte Anwender sich mit ihrer Technologie selbst geeignete Proben herstellen, die dann in der PTB kalibriert werden.

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