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Nanokraftmesstechnik für taktile Sensoren
Arbeitsgruppe 5.11
Antastverfahren für Mikrostrukturen
Überblick über verschiedene, in der AG 5.11 verwendete Antastmöglichkeiten für Mikrostrukturen:
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2012-09-12,
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