Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Aufgaben und Ziele

Eine besondere Herausforderung bei der taktilen Oberflächenmessung von Mikrosystemen stellen die Wechselwirkungskräfte zwischen Sensor und Messobjekt dar. Zu große Antastdrücke führen zu Deformationen und Kratzern, zu kleine zu einem Abheben des Sensors von der Oberfläche. Die genaue Kenntnis der bei der Messung auftretenden Antastkräfte spielt daher eine große Rolle. Neben Tastschnittgeräten sind Rasterkraftmikroskope die Messgeräte der Wahl, wenn Topographien hochauflösend gemessen werden sollen. Diese werden darüber hinaus zunehmend zur Messung von Bindungskräften in der chemischen und biologischen Analytik eingesetzt. Es sollen daher sowohl Messverfahren zur präzisen Messung von Mikro- und Nanokräften als auch entsprechende Transfernormale für die Industrie entwickelt werden. Ferner sollen spezielle Verfahren zur Korrektur des Deformationseinflusses bei taktilen Oberflächenmessungen entwickelt werden.

Die Forschungsschwerpunkte der Arbeitsgruppe sind:

• Mikro- und Nanokraftmesstechnik 
• Antastverfahren für Mikrostrukturen
  
  • Si-Biegebalken Sensoren
• Normale
  • Mikrokraft-Einstellnormale
  • Tiefen-Einstellnormale für Messbereiche von 1 µm bis 5 mm
• Normen und Richtlinien

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