Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Normale für die quantitative Mikroskopie

- Veröffentlichungen

In der Mikroskopie werden Normale z.B. für die Bestimmung der lateralen Vergrößerung oder der lateralen Auflösung eines Mikroskops verwendet. Von besonderer Bedeutung sind so genannte Strukturbreiten-Normale, d.h. lineare Strukturen mit definierten Breiten-Abmessungen, die u.a. in der Halbleiter-Industrie eingesetzt werden.

Für viele Anwendungen sind Normale geeignet, die Chrom-Strukturen auf einem Glas- oder Quarzsubstrat enthalten. Solche Strukturen können mit lithografischen Methoden hergestellt werden.

Die PTB hat zusammen mit anderen Partnern Normale für verschiedene Anwendungszwecke entwickelt. Darüber hinaus bietet die PTB die Kalibrierung der Normale als Dienstleistung an.

Folgende Normale sind entwickelt worden:

• Photomasken-Normal
  
  
• Normal für die optische Mikroskopie
  
  
• Normal für die UV-Mikroskopie
  
  
  

Ansprechpartner

Dr. Egbert Buhr Tel.: 0531 592-4200 Fax: 0531 592-4205 E-Mail: Egbert Buhr	Dr. Bernd Bodermann Tel.: 0531 592-4222 Fax: 0531 592-4264 E-Mail: Bernd Bodermann