Quantitative Mikroskopie
Arbeitsgruppe 4.22
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Aufgaben
Erforschung und Entwicklung mikroskopischer Messverfahren und geeigneter Standards für die rückgeführte dimensionelle Messung an Mikro- und Nanostrukturen.
Hauptanwendungen sind Messungen und Kalibrierungen von Strukturen auf Photomasken für die Halbleiterindustrie sowie Kalibrierungen von Strukturbreitennormalen und von Gitterstrukturen. Neues Anwendungsgebiet ist die Charakterisierung von Nanopartikeln.
Arbeitsthemen und Projekte
UV-Mikroskopie zur Kalibrierung von Strukturbreiten
Normale für die quantitative Mikroskopie
Kalibrierung von Gitterkonstanten mit optischer Beugung
Charakterisierung stochastisch-nanostrukturierter Polymeroberflächen
Rasterelektronenmikroskopie zur Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen
Nanopartikelmessung
Kontakt
| Arbeitsgruppenleiter | Dr. Egbert Buhr Tel.: 0531 592-4200 Fax: 0531 592-4205 E-Mail:  Egbert Buhr | |
| Anschrift | Physikalisch-Technische Bundesanstalt Arbeitsgruppe 4.22 Bundesallee 100 38116 Braunschweig |
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2012-10-05, Webmaster Abteilung 4
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