Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Es gibt zwei Aufgabenschwerpunkte im Fachbereich:

Form- und Wellenfrontmetrologie
Messung der Form optisch glatter Oberflächen und optischer Wellenfronten mit Unsicherheiten in der Größenordnung von Nanometern und Sub-Nanometern. Hinzu kommen Messaufgaben zur optischen Charakterisierung von optischen Komponenten und Materialien, u.a. Polarimetrie und Refraktometrie.

Quantitative und höchstauflösende Mikroskopie
Messung der Größe von Oberflächenstrukturen im µm- und Sub-µm-Bereich. In der höchstauflösenden Mikroskopie wird dazu optische Strahlung mit einer Wellenlänge von 193 nm eingesetzt.

Für beide Aufgabenschwerpunkte werden Grundlagenuntersuchungen durchgeführt, Messverfahren entwickelt und Messungen und Kalibrierungen für Industrie und Wissenschaft ausgeführt. Forschungsprojekte werden oft in Zusammenarbeit mit der Industrie durchgeführt.

• 4.21 Form- und Wellenfrontmetrologie
• 4.22 Quantitative Mikroskopie
• 4.23 Höchstauflösende Mikroskopie