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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 2 Elektrizität 2.5 Halbleiterphysik und Magnetismus2.53 Niedrigdimensionale Elektronensysteme > Herstellung ein- und nulldimensionaler Strukturen
Herstellung von Nanostrukturen
Arbeitsgruppe 2.53

Die in der Arbeitsgruppe untersuchten Nanostrukturen werden auf unterschiedliche Weise hergestellt, z.B. durch hochauflösende Elektronen-strahllithographie oder durch Ausnutzung von Selbstorganisationseffekten beim MBE-Wachstum von III/V-Halbleitern. Zudem untersuchen wir Kohlenstoff-Nanoröhrchen, die am Max-Planck-Institut für Festkörperforschung in Stuttgart präpariert werden.

Elektronenstrahllithographie

Zur Herstellung von 0D- und 1D-Strukturen wird die Dimension eines zweidimensionalen Elektronengases auf GaAs/AlGaAs-Basis durch Elektronenstrahllithographie und anschließendes Ätzen und Abscheiden elektrostatischer Gatekontakte weiter reduziert.



Selbstorganisation

Wird InAs unter kontrollierten Bedingungen auf GaAs oder AlAs abgeschieden, so können sich selbstorganisierte Quantenpunkte mit Nanometer-Abmessungen bilden.



Kohlenstoff-Nanoröhrchen

Kohlenstoff-Nanoröhrchen sind perfekte eindimensionale Leiter, die metallischen oder halbleitenden Charakter haben können. Wir untersuchen das Pumpen einzelner Elektronen in Nanoröhrchen, die am MPI Stuttgart gefertigt und kontaktiert werden.



© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-11-17, Hans Harcken Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF