Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Für die Fabrikation von Quantenschaltungen betreibt der Fachbereich 2.4 "Quantenelektronik" das Reinraumzentrum der PTB mit der erforderlichen Dünnschichttechnologie sowie den lithographischen Einrichtungen zur Herstellung hochintegrierter metallischer Schaltungen auf der Basis von Supraleitern und Normalleitern mit Strukturbreiten bis herab zu 10 nm. Zur Herstellung dieser mikro- und nanoelektronischen Strukturen werden verschiedene technische Anlagen benötigt:

• Lithographiesysteme zur Belichtung von Strukturen in Photolack.
  
  
  • Optische Lithographie
    
    
  • Elektronenstrahllithographie
    
    
• Beschichtungsanlagen zur Erzeugung dünner Metall- und Isolatorschichten.
  
  
• Ätzanlagen zur Strukturierung von Metall- und Isolatorschichten.
  
  

Zur Durchführung der Tieftemperaturexperimente an den hergestellten Schaltungen stehen außerdem zwei Mischungskryostaten zur Verfügung.

Alle Arbeitsgruppen im Fachbereich "Quantenelektronik" nutzen die Technologie: 

• Einzelladungs- und Einzelflussquanten-Schaltungen 
• Schaltungen für Josephson-Spannungsnormale 
• Nanostrukturen für technische Anwendungen 
• Makroskopische Quanten-Objekte 

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