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Herstellung
Herstellung von metallischen Strukturen mit sub-µm-Abmessungen
Metallische Schaltkreise mit Tunnelkontakten im sub-µm Maßstab werden mittels elektronenstrahllithographischer Methoden in unserem Reinraumzentrum hergestellt.
Die wichtigsten Methoden für die Herstellung von Bauelementen, die Einzelladungseffekte zeigen (Single Electron Tunneling), sind:
- Schrägbedampfungstechniken mit Schattenmasken.
- Standard-Schrägbedampfung
- Vier-Winkel Schrägbedampfung zur Erzeugung sehr kleiner Inseln
- Schrägbedampfung für hochschmelzende Materialien wie Niob
© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-11-17, Ralf Dolata
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