zum Seiteninhalt

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Fachabteilungen > Abt. 2 Elektrizität > 2.4 Quantenelektronik > 2.44 Nanostrukturierung > Ausstattung
Nanostrukturen für technische Anwendungen
Arbeitsgruppe 2.44
  • 200 kV-Transmissions-Elektronenmikroskop (TEM) mit Rasterzusatz (STEM), beide mit Feldemissions-Strahlquelle und energiedispersiver Röntgenmikroanalyse 

  • Digitales Bildverarbeitungssystem

  • Querschnitts-Präparation (TEM und STEM) 

  • Sputter- und Aufdampfanlagen



  • Raster-Elektronenmikroskop Zeiss Supra 40  



  • Elektronenstrahlschreiber (Vistec, Typ EBPG-5000+), Strahlenergie 20 , 50 oder 100 keV  



  • Elektronenstrahlschreiber (Leica, Typ LION LV1), Strahlenergie 0.5 -20 keV

© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2011-11-17, Thomas Weimann Seite drucken Druckansicht, PDF-Export PDF