Metrology Light Source
Die Metrology Light Source (MLS) ist ein Elektronenspeicherring, der in Berlin-Adlershof im PTB-Auftrag von der ehemaligen BESSY GmbH für die Erzeugung und Nutzung von Synchrotronstrahlung errichtet wurde und besonders für die Spektralbereiche des IR, UV, Vakuum-UV (VUV) und Extrem-UV (EUV) geeignet ist.
Einzigartige Messmöglichkeiten bietet die Nutzung der MLS als primäres Strahlernormal bei der Charakterisierung von energiedispersiven Detektorsystemen wie Spektrometern oder Filterradiometern und bei der Kalibrierung von Einzelphotonendetektoren und UV/VUV-Strahlungsquellen. Dazu wurden neben einem Strahlrohr für direkte Ablenkmagnetstrahlung auch Messplätze zur Elektronenenergiemessung und zur Elektronenstrahldiagnostik aufgebaut. Ein UV/VUV-Messplatz für Quellenkalibrierung ist seit kurzem in Betrieb.
Ein Schwerpunkt der Industriekooperationen an der MLS ist die EUV-Lithografie. Die sehr umfangreichen Arbeiten auf diesem Gebiet umfassen die Charakterisierung von Multilayer-Spiegeln, Kollektoroptiken, Reflexionsmasken sowie Detektionssystemen für EUV-Strahlung bei einer Wellenlänge von 13,5 nm.
Ansprechpartner:
Gerhard Ulm
Tel.: +49 531 3481-7312
E-Mail: gerhard.ulm@ptb.de
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