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Neues photoakustisches NH3-Spektrometer für EMRP-Projekt "Metrology for airborne molecular contamination in manufacturing environments" (IND63 MetAMC)
31.10.2015
Im Rahmen des EMRP Projekts MetAMC wurde in AG 3.22 ein Spektrometer zur photo-akustischen Detektion von geringsten Mengen Ammoniak entwickelt. Eine Nachweisgrenze im Bereich weniger nmol/mol wurde dabei durch die Verwendung eines neuartigen, optisch-interferometrischen Mikrophons erzielt, dass optisch induzierte Druckschwankungen anhand der Schwingung eines kleinen Silizium-Cantilevers vermisst. Eine spezielle Gasaustausch-Methode wurde erarbeitet, um diese Detektionsmethode für die Messung stark adsorbierender Gase nutzbar zu machen.
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