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Production sequence of Si-spheres and interferometrical determination of the sphere volume

Electron Microscopy

Working Group 5.24

Profile

Die Arbeitsgruppe 5.24 beschäftigt sich mit elektronenmikroskopischen Messverfahren und deren Anwendung, insbesondere im Bereich der dimensionellen Nanometrologie.

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Research/Development

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Services

  • Rückgeführte Messung der mittleren Partikelgröße mittels TSEM
  • Messbereich: 7 nm -- 300 nm
  • Unsicherheit: 2 nm + 0,02\*d (d in nm)

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