Forschungsthema:
Messung von Winkel- und Formabweichungen an Spiegelpolygonflächen mit einem Phaseninterferometer
In der PTB wurde ein Phaseninterferometer zur gleichzeitigen Messung von Winkel- und Formabweichungen an Spiegelpolygonen eingesetzt. Um den Einfluss der Formabweichung auf die Winkelabweichungen zu verifizieren, wurden in einem Messaufbau, bestehend aus einem Winkelmesstisch, einem elektronischen Autokollimator und dem Phasenschiebe-Interferometer verschiedene Spiegelpolygone gemessen.
Es konnte ein Zusammenhang der Differenz der Winkelergebnisse zwischen Autokollimator und Phaseninterferometer und den gemessenen Formabweichungen der Spiegelflächen nachgewiesen werden. Bei Formabweichungen unter 6 nm (RMS) lagen die Differenzen der Winkelabweichungen unter ± 0,02″. Im Falle eines 12-flächigen Spiegelpolygons konnte eine Korrelation zwischen den Differenzen der Winkelergebnisse und der Formabweichung (RMS) mit einem Koeffizienten von 0,66 mit einem Vertrauensniveau von 99,9 % nachgewiesen werden.
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