Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Metrology for the manufacturing of thin films

Die Fähigkeit, qualitiativ hochwertige dünne Filme herzustellen, ist in der optoelektronischen Industrie, in der Europa eine führende Rolle einnimmt, von zentraler Bedeutung. Elektronik aus Kunststoffen, gedruckte Elektronik, Displays und Beleuchtung, Speicher und Solarzellen sind typische Beispiele für solche Dünnfilmanwendungen.

Eine verbesserte Produktionsqualität bei reduzierten Kosten und eine zeitnahe Markteinführung neuer Produkte stellen wesentliche Anforderungen dar, damit Europa die Spitzenposition auf dem Weltmarkt optoelektronischer Produkte behaupten kann. Die zentrale Herausforderung ist hierbei, eine einheitliche Beschaffenheit in der Dünnfilmbearbeitung zu erreichen. Der Verwendung großer Flächen kommt eine maßgebliche Rolle in der Wettbewerbsfähigkeit zu. Hiermit ist jedoch die Notwendigkeit verbunden, Verfahren für eine strikte Qualitätskontrolle auf dieser Skala zur Verfügung zu haben, mit denen es möglich ist, Variationen aufgrund von Driften während des Herstellungsprozesses oder lokale Defekte nachzuweisen. Validierte und rückgeführte Messungen von Dünnfilmeigenschaften müssen hierfür zur Verfügung stehen, ebenso wie Verfahren für eine genaue Charakterisierung von Mikrostrukturen in Dünnfilmen.

Ziel des Projektes ist, eine europaübergreifende metrologische Infrastruktur aufzubauen, die es erlaubt, wesentliche Dünnfilmeigenschaften wie Zusammensetzung und Struktur und bei großen Flächen Homogenität und Konsistenz der Eigenschaften validiert bzw. rückgeführt zu messen. Für die Erfassung der Mikrostruktur von Dünnfilmen werden Methoden basierend auf Röntgen- und Ramanspektroskopie entwickelt werden mit einem Schwerpunkt auf der Charakterisierung komplexer Multikomponenten-Dünnfilme. Die PTB hat die Federführung in diesem Arbeitspaket inne.

Weitere Informationen über das Projekt und die Projektpartner:

Projekt-Webseite

Ansprechpartner

Dr. Burkhard Beckhoff
Tel: 030 3481 7170
E-Mail: burkhard.beckhoff@ptb.de