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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Modellierung Rastermikroskopie

Arbeitsgruppe 5.24

Aufgaben und Ziele

 

  • Entwicklung von Methoden zur Modellierung des Signalkontrastes hoch auflösender mikroskopischer Messverfahren wie REM und AFM
  • Entwicklung eines modularen Monte Carlo-Simulationsprogrammes zur Modellierung der physikalischen Sonde-Proben-Wechselwirkung und der Abbildung im REM
  • Entwicklung und Anwendung von Verfahren zur Tastspitzenrekonstruktion und zur Modellierung der Sonde-Proben-Wechselwirkung bei AFM
  • Modellierung und Anwendung von REM- und AFM-Messverfahren zur quantitativen Charakterisierung von Nanopartikeln