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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Elektronenmikroskopie

Arbeitsgruppe 5.24

Profil

  • Entwicklung von Methoden zur Modellierung des Signalkontrastes hoch auflösender mikroskopischer Messverfahren wie REM und AFM
  • Entwicklung eines modularen Monte Carlo-Simulationsprogrammes zur Modellierung der physikalischen Sonde-Proben-Wechselwirkung und der Abbildung im REM
  • Entwicklung und Anwendung von Verfahren zur Tastspitzenrekonstruktion und zur Modellierung der Sonde-Proben-Wechselwirkung bei AFM
  • Modellierung und Anwendung von REM- und AFM-Messverfahren zur quantitativen Charakterisierung von Nanopartikeln

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Forschung/Entwicklung

Monte Carlo Methoden zur Simulation des Bildkontrastes im REM

Die Monte Carlo Methode ist ein numerisches Verfahren, um stochastische physikalische Vorgänge zu beschreiben, die nicht analytisch lösbar sind. Die Methode existiert schon so lange wie es elektronische Computer gibt, seit den 1970er Jahren hat sie auch in der Raster-Elektronenmikroskopie Einzug gehalten.

 

Entwicklung eines modularen Monte Carlo Simulationsprogrammes

Aufgrund einiger Beschränkungen bestehender Simulationsprogramme (keine 3D-Strukturen, keine Erweiterbarkeit der Programme) wird zur Zeit ein Monte Carlo Simulationsprogramm für die Raster-Elektronenmikroskopie komplett neu entwickelt (MCSEM). Ein wichtiges Ziel ist dabei die Modularität des gesamten Programmpaketes.

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Dienstleistungen

Die Arbeitsgruppe bietet keine Dienstleistungen an. Bitte wenden Sie sich diesbezüglich an den Fachbereich.

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Informationen

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