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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Elektronenmikroskopie

Arbeitsgruppe 5.24

Profil

Die Arbeitsgruppe 5.24 beschäftigt sich mit elektronenmikroskopischen Messverfahren und deren Anwendung, insbesondere im Bereich der dimensionellen Nanometrologie.

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Forschung/Entwicklung

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Dienstleistungen

  • Rückgeführte Messung der mittleren Partikelgröße mittels TSEM
  • Messbereich: 7 nm -- 300 nm
  • Unsicherheit: 2 nm + 0,02\*d (d in nm)

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Informationen

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