Logo der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt
Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Verschiebeinterferometrie

Arbeitsgruppe 5.22

Profil

  • Entwicklung von Messgeräten und -verfahren für dimensionelle Messungen an 2D-Maßverkörperungen mit Mikrostrukturteilungen
  • Untersuchung und Verbesserung von hochauflösenden Messverfahren zur Lokalisierung von Mikro- und Nanostrukturkanten
  • Kalibrieren von Photomasken, Objektmikrometern, Gitterteilungen sowie sonstigen ebenen Messobjekten

Nach oben

Forschung/Entwicklung

Dimensionelle Metrologie an Photomasken- und Halbleiterstrukturen

 

Dimensionelle Metrologie mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM)

 

  • Entwicklung von anwendungsspezifischen Kantenoperatoren
  • Untersuchungen zur Charakterisierung des Justagezustandes eines REM
  • Untersuchung und Kalibrierung von nanostrukturierten Gitterteilungen
  • Charakterisierung von REM-Scangeneratoren

 

Entwicklung von Strukturbreiten-Maskennormalen (CD-Normale)

 

Optische Längen- und x-y-Koordinatenmessung auf ebenen Messobjekten

 

  • Nano3: Internationaler Strichmaßvergleich
  • Untersuchungen zur Strukturbreiten-Maßübertragung
  • Hochgenaue Längenmaßweitergabe auf 1D- und 2D-Objekten
  • Untersuchungen an Normalen zur Bestimmung der lithografischen Verkleinerung

 

Rastersondenmikroskopie an größeren planaren Messobjekten

  • Messtechnische Eigenschaften der Nanostation 300
  • Entwicklung von kantensensitiven Messverfahren

Nach oben

Dienstleistungen

Nach oben

Informationen

Nach oben