Logo PTB
Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Maskenmesstechnik

Arbeitsgruppe 5.22

Aufgaben und Ziele

  • Entwicklung von Messgeräten und -verfahren für dimensionelle Messungen an 2D-Maßverkörperungen mit Mikrostrukturteilungen
  • Untersuchung und Verbesserung von hochauflösenden Messverfahren zur Lokalisierung von Mikro- und Nanostrukturkanten
  • Kalibrieren von Photomasken, Objektmikrometern, Gitterteilungen sowie sonstigen ebenen Messobjekten