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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Dimensionelle Nanometrologie

Fachbereich 5.2

Aufgaben und Ziele

 

Der Fachbereich hat die Aufgabe, auf dem Gebiet der dimensionellen Metrologie an Nanostrukturen sowie an mikro- und nanostrukturierten Maßverkörperungen, Messverfahren, Normale und Messeinrichtungen zu entwickeln und zu optimieren sowie dimensionelle Messgrößen durch Kalibrierung geeigneter Messobjekte weiterzugeben. Mit den vorhandenen Messeinrichtungen können Messungen an mikro- und nanostrukturierten Maßverkörperungen sowie dimensionellen Messsystemen mit Messunsicherheiten im Nanometerbereich durchgeführt werden. Dies gilt in entsprechender Weise für hochpräzise Winkelmesssysteme und Winkelmaßverkörperungen, die mit Messunsicherheiten im Nanoradiant-Bereich charakterisiert werden können. Darüber hinaus ist der Fachbereich in verschiedene Forschungsprojekte im Bereich der Nanometrologie eingebunden.