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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

3D-Rauheitsmesstechnik

Arbeitsgruppe 5.14

Profil

 

Die Arbeitsgruppe hat die Aufgabe, Messeinrichtungen, Messverfahren sowie Kalibriernormale zu entwickeln und zu verbessern, die im Gebiet der Oberflächenrauheit eingesetzt werden. Durch Mitarbeit in Gremien und Beratung wird der Kontakt zu industriellen Fragestellungen aufrecht erhalten.

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Forschung/Entwicklung

  • Entwicklung und Anwendung optischer Verfahren
  • Anwendung von Rasterkraftmikroskopen
  • Aufbau eines Profilometers für flächenhafte Messungen mit taktilen und optischen Antastverfahren
  • Rückführung von Streulichtmessungen im sichtbaren Wellenlängenbereich auf andere Oberflächenmessverfahren

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Dienstleistungen

Optische Kalibrierungen von Rauhheits- Stufen und Rillennormalen werden nur in Kombination mit Opens internal link in current windowTastschnittmessungen angeboten. Rückgeführt können derzeit Strukturen bis < 10 µm gemessen werden. Konfokale, nicht rückgeführte Messungen sind bis 100 µm möglich.

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Informationen

Derzeit liegen keine gesonderten Informationen vor.

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