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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

3D-Rauheitsmesstechnik

Arbeitsgruppe 5.14

Aufgaben und Ziele

 

Die Arbeitsgruppe hat die Aufgabe, Messeinrichtungen, Messverfahren sowie Kalibriernormale zu entwickeln und zu verbessern, die im Gebiet der Oberflächenrauheit eingesetzt werden. Durch Mitarbeit in Gremien und Beratung wird der Kontakt zu industriellen Fragestellungen aufrechterhalten.

Ziele:

  • Entwicklung und Anwendung optischer Verfahren
  • Anwendung von Rasterkraftmikroskopen
  • Aufbau eines Profilometers für flächenhafte Messungen mit taktilen und optischen Antastverfahren
  • Rückführung von Streulichtmessungen im sichtbaren Wellenlängenbereich auf andere Oberflächenmessverfahren