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3D-Rauheitsmesstechnik

Arbeitsgruppe 5.14

Profil

 

Die Arbeitsgruppe hat die Aufgabe, Messeinrichtungen, Messverfahren sowie Kalibriernormale zu entwickeln und zu verbessern, die im Gebiet der Oberflächenrauheit eingesetzt werden. Durch Mitarbeit in Gremien und Beratung wird der Kontakt zu industriellen Fragestellungen aufrecht erhalten.

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Forschung/Entwicklung

  • Entwicklung neuer und Verbesserung bestehender Messeinrichtungen und –verfahren für die flächenhafte Rauheitsmesstechnik
  • Entwicklung von Raunormalen für die Charakterisierung von taktilen und optischen Verfahren sowie Rastersondenmikroskopen
  • Bestimmung von Kenngrößen mit interferentiell- und konfokal arbeitenden Mikroskopen
  • Umsetzung von Normen für flächenhafte Rauheitsmesstechnik
  • Untersuchung der elektronischen Struktur an Oberflächen mittels Kelvin-Probe AFM

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Dienstleistungen

Optische Kalibrierungen von Stufenhöhen- und Tiefeneinstellnormalen werden nur in Kombination mit Tastschnittmessungen angeboten. Flächenhafte Messungen mit optischen Mikroskopen sind international noch nicht vollständig genormt (ISO 25178-60x und -70x). Insofern sind hier Messungen an Proben nur in begrenztem Umfang und nach Absprache möglich.
Im Zuge der Entwicklung flächenhafter Rauheitsmesstechnik wurden in Kooperation mit Partnern Verfahren und Proben getestet, die ggfs. als Normal zur Verifizierung der Eignung von optischen Mikroskopen für die flächenhafte Rauheitsmesstechnik eingesetzt werden können. Derzeit wir ein europäischer Ringvergleich durchgeführt, der die Vergleichbarkeit optischer, flächenhafter Rauheitsmessungen dokumentierten soll.

Ähnliches gilt auch für die flächenhaft messende Rasterkraftmikroskopie.

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Informationen

Stand der Norm DIN EN ISO 16610 für die ISO 25178 Serie

 

Geometrische Produktspezifikation GPSI-Filterung

 

TeilBezeichnungStatusJahr
1Überblick und grundlegende KonzepteNorm2015-11
20Lineare Profilfilter:
Grundlegende Konzepte
Norm2015-12
21Lineare Profilfilter:
Gauß-Filter
Norm2013-03
22Lineare Profilfilter: Spline-FilterNorm Neu2016-04
28Profilfilter: Endeffekte    Norm-Entwurf 2015-09
29Lineare Profilfilter: Spline-Wavelets   Norm  Neu2016-04
31Robuste Profilfilter
Gaußsehe Regressionsfilter   
Norm-Entwurf  2016-09
40Morphologische Profilfilter Grundlegende KonzepteNorm-Entwurf  2012-10
41Morphologische Profilfilter Filter mit Kreisscheibe und horizontaler StreckeNorm2015-12
49Morphologische Profilfilter
Skalenraumverfahren
Norm2015-12
60Lineare Flächenfilter- Grundlegende KonzepteNorm Neu2016-03
61Lineare Flächenfilter – Gauß-FilterNorm Neu2016-04
71Robuste Flächenfilter:
Gaußsche Regressionsfilter
Norm2014-12
85Morphologische Flächenfilterung: SegmentierungNorm 2013-05



Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft

TeilBezeichnungStatusJahr
1Eintragung von OberflächenbeschaffenheitNorm2016-04
2Begriffe und Oberflächen-KenngrößenNorm2012-04
3SpezifikationsoperatorenNorm2012-07
6Klassifizierung von Methoden zur Messung der OberflächenbeschaffenheitNorm2010-01
70Maßverkörperungen Norm2014-02
71Software­NormaleNorm-Entwurf 2015-06
72XML-Dateiformat Norm-Entwurf2015-10
601Merkmale von berührend messenden Geräten ( mit Taster)Norm2011-01
602Merkmale von berührungslos messenden Geräten (mit chronisch konfokaler Sonde)Norm2011-01
603Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie)Norm2014-02
604Merkmale von berührungslos messenden Geräten IWeiBlicht-lnterferumetrie) Deutsche FassungENNorm-Entwurf2013-02
605Merkmale von berührungslos messenden Geräten (Punkt-Autofokus-Sensor) Deutsche Fassung ENDIN EN ISO 25178-6052014-06
606Merkmale von berührungslos messenden Geräten (Fokusvariation) Deutsche Fassung prENNorm-Entwurf2013-02
701Kalibrierung und Normale für berührend messende Geräte (mit Taster) Deutsche FassungNorm2011-01

   

Geometrische Produktspezifikation

ISO 1302, ISO 3274, ISO 4287

TeilBezeichnungStatusJahr
ISO 1302Angabe der Oberflächenbeschaffenheit in der techn. Produktdokumentation    Norm2002-02
ISO 3274Oberflächenbeschaffenheit:
Tastschnittverfahren Nenneigenschaften von Tastschittgeräten  
Norm1996-12
ISO 3274Technical  Corrigendum 1
Oberflächenbeschaffenheit: Tastschnittverfahren
Nenneigenschaften von Tastschittgeräten; Korrektur 1
Norm1998-06
ISO 4287    Oberflächenbeschaffenheit:
Tastschnittverfahren
Benennungen, Definition und Kenngrößen der Oberflächenbeschaffenheit
Norm1997-04
ISO 4287AMD 1Oberflächenbeschaffenheit:
Tastschnittverfahren
Benennungen, Definition und Kenngrößen der  Oberflächenbeschaffenheit; Änderung 2:
Kenngrößen Xsm und Xc
Norm2009-06
ISO 4287Technnical Corrigendum 1
Geometrische Produktspezifikation und -prüfung (GPS)
Oberflächenbeschaffenheit: Tastschnittverfahren -
Benennungen, Definition und Kenngrößen der Oberflächenbeschaffenheit; Korrektur 1
Norm1998-06








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