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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Nanokraftmesstechnik

Arbeitsgruppe 5.12

Aufgaben und Ziele

 

Aufgaben

  • Aufbau, Inbetriebnahme und Betrieb der Nanokraftnormalmesseinrichtung (NKNM). Die NKNM ist gleichzeitig Kraftsensor und Kraftaktor mit Rückführung auf das SI-System. Es können Kräfte ≤ 10 µN mit 0,1 pN Auflösung und einer relativen Unsicherheit von 10-3 bei 1nN behandelt werden.
  • Kraftmessung im Nano- und Subnewtonbereich.

 

Ziele

  • Kalibrierung von Krafttransfernormalen (MEMS, Cantilevern usw.)
  • Kalibrierung von Mikro-Nanokraftsensoren
  • Angestrebte Bereiche:
    Kraft-Messbereich (Fm): 0,1 pN ≤ Fm < 10 µN
    Angestrebte Unsicherheit: 10-3 bei 1nN
    Steifigkeitsbereich (K): 10-6 N/m - 10 N/m
    Angestrebte Unsicherheit: 10-3 bei K = 10-3N/m
    Wichtigster Kraftbereich: 1pN - 100nN