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Scatterometrie

Referenzen
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B. Bodermann, A. Diener, M. Wurm
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B. Bodermann, A. Diener, F. Scholze, S. Heidenreich, V. Soltwisch, M. Wurm
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M. Wurm, J. Endres, J. Probst, M. Schoengen, A. Diener, B. Bodermann
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B. Bodermann, G. Ehret, A. Diener, D. Bergmann, M. Wurm
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J. Endres, A. Diener, M. Wurm, B. Bodermann
Measurement Science and Technology 25(4), 044004 ( 2014)
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F. Scholze, B. Bodermann, S. Burger, J. Endres, A. Haase, M. Krumrey, C. Laubis, V. Soltwisch, A. Ullrich, J. Wernecke
30th European Mask and Lithography Conference, Dresden, Germany, 24-25, June, 2014
30th European Mask and Lithography Conference; Proceedings of SPIE Band 9231 (2014) , Seite 92310M-1 - 92310M-11

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J. Endres, B. Bodermann, G. Dai, M. Wurm, M.-A. Henn, H. Gross, F. Scholze, A. Diener
7th International Workshop on Advanced Optical Imaging and Metrology, FRINGE 2013, Nuertingen, Germany, 08-11, September, 2013
Fringe 2013: 7th International Workshop on Advanced Optical Imaging and Metrology (2014) , Seite 695 - 700
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J. Endres, N. Kumar, P. Petrik, M.-A. Henn, S. Heidenreich, S. Pereira, P. Urbach, B. Bodermann
SPIE Photonics Europe, Brussels, Belgium, 14-17, April, 2014
Optical Micro- and Nanometrology V; Proceedings of SPIE Band 9132 (2014) , Seite 913208-1 - 913208-9
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J. Endres, S. Burger, M. Wurm, B. Bodermann
SPIE Conference Optical Metrology: Modeling Aspects in Optical Metrology IV, Munich, Germany, 10-14, May, 2013
Modeling aspects in optical metrology IV; Proceedings of SPIE Band 8789 (2013) , Seite 878904-1 - 878904-9

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M.-A. Henn, S. Heidenreich, H. Gross, B. Bodermann, M. Baer
SPIE Conference Optical Metrology: Modeling Aspects in Optical Metrology IV, Munich, Germany, May 13, 2013
SPIE Conference Optical Metrology: Modeling Aspects in Optical Metrology IV, Proc SPIE Band 8789 (2013) , Seite 87890U-1-87890U-6
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S. Heidenreich, M.-A. Henn, H. Gross, B. Bodermann, M. Baer
SPIE Conference Optical Metrology: Modeling Aspects in Optical Metrology IV, Munich, Germany, May 13-14, 2013
Modeling Aspects in Optical Metrology IV; Proceedings of SPIE Band 8789 (2013)

[CD-ROM] file name: 8789_29.pdf, 87890T-1 - 87890T-8

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B. Bodermann, J. Endres, H. Gross, M.-A. Henn, A. Kato, F. Scholze, M. Wurm
113. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO113. Jahrestagung der Deutschen Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO), Eindhoven, The Netherlands, 29, May - 02, June, 2007
DGaO-Proceedings Band 113 (2012)

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