Logo der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt

EMRP-Projekt "Metrology for airborne molecular contamination in manufacturing environments" (IND63 MetAMC) auf der Zielgeraden

31.10.2015

Das Projekt MetAMC steht nach 30 monatiger Bearbeitung kurz vor dem Abschluss. Im Jahr 2015 konnte die AG 3.22 die Arbeiten zur optischen Detektion von kleinsten Mengen luftgetragener molekularer Verunreinigungen (engl. airborne molecular contamination, AMC) abschließen und ein NH3-Cavity-Ring-Down-Spektrometer im Reinraumzentrum der PTB bewerten. Dabei wurde mit hoher Zeitauflösung NH3-Stoffmengenanteile von wenigen nmol/mol in der Reinraumluft erfasst. Als Leiter des Impact-Arbeitspaket hat sich AG 3.22 maßgeblich an der Präsentation des Projekts auf der Opens external link in new windowFachmesse Cleanzone beteiligt, um Projektergebnisse einem großen Fachpublikum zugänglich zu machen.