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Fertigungskette von Si-Kugeln und interferometrische Bestimmung des Kugelvolumens

Laserbearbeitung

Zur Laserbearbeitung stehen zwei gepulste Quellen mit den Wellenlänge 355 nm bei 4 W sowie 1062 nm bei 20 W zur Verfügung. Eine umfangreiche Robotik eröffnet ein breites Feld von Mikrobearbeitungsmöglichkeiten.

Unsere selbst entwickelte Kinematik mit derzeit 4 Achsen für UV und eine weitere ebenfalls 4-achsige Bearbeitungs-Anlage für IR ermöglichen umfangreiche Bearbeitungsaufgaben an komplexen Geometrien. Das Schneiden, Strukturieren und Beschriften nahezu aller Werkstoffe und das Belichten für photolithographische Prozesse sind möglich.

4-Achs-Robotik mit UV
Laser zur Außen-Bearbeitung
eines zylindrischen Bauteils
UV-Laser mit Umlenkoptik und
Robotik zum Innenstrukturieren
Innenstrukturierter, gold-
beschichteter Zerodur-
zylinder

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