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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 5 Fertigungsmesstechnik5.2 Dimensionelle Nanometrologie5.25 Rastersondenmetrologie > Rastersondenmikroskopische Metrologiesysteme
Rastersondenmetrologie
Arbeitsgruppe 5.25

Rastersondenmikroskopische Metrologiesysteme

Neben anderen Entwicklungsarbeiten auf dem Gebiet der SPM-Metrologie sind in den zurückliegenden Jahren zwei kommerzielle SFMs um miniaturisierte Homodyn-Laserinterferometer erweitert worden. Das Positioniersystem eines dritten Geräts, welches in der PTB zu einem SFM ausgebaut wurde, ist bereits herstellerseitig mit Laserinterferometern ausgestattet. Die Entwicklungen dieser Laserinterferometer wurden in Zusammenarbeit mit der Technischen Universität in Ilmenau sowie der Fa. SIOS Messtechnik GmbH durchgeführt. Bei allen Geräten wurde bereits während der Konstruktion der Interferometererweiterung bzw. des Gerätdesigns ein besonderes Augenmerk darauf gelegt, dass Prinzipien wie die Minimierung von Abbe-Fehlern bzw. von Verkippungen erfüllt sind. Die genannten SFMs dienen in der PTB zur Kalibrierung von Maßverkörperungen sowie zur allgemeinen Charakterisierung von Mikrostrukturen und werden im Weiteren als metrologische SFMs bezeichnet.

Beispiele:


© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-01-08,  Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF