zum Seiteninhalt

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 5 Fertigungsmesstechnik5.2 Dimensionelle Nanometrologie > 5.22 Maskenmesstechnik
Maskenmesstechnik
Arbeitsgruppe 5.22

Aufgaben

 

  • Entwicklung von Messgeräten und -verfahren für dimensionelle Messungen an 2D-Maßverkörperungen mit Mikrostrukturteilungen
  • Untersuchung und Verbesserung von hochauflösenden Messverfahren zur Lokalisierung von Mikro- und Nanostrukturkanten
  • Kalibrieren von Photomasken, Objektmikrometern, Gitterteilungen sowie sonstigen ebenen Messobjekten

Kontakt

Arbeitsgruppenleiter

Dr. Gaoliang Dai
Tel.: 0531 592-5127
Fax: 0531 592-5205
Email: gaoliang.dai@ptb.de

Sekretariat

Christina Müller
Tel.: 0531 592-5201
Fax: 0531 592-5205
Email: christina.mueller@ptb.de

Anschrift

Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Arbeitsgruppe 5.22
Bundesallee 100
38116 Braunschweig

© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-02-12,  Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF