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Physikalisch-Technische Bundesanstalt

FachabteilungenAbt. 5 Fertigungsmesstechnik5.2 Dimensionelle Nanometrologie > 5.21 Längenteilungen
Längenteilungen
Arbeitsgruppe 5.21

Aufgaben

  • Entwicklung von Messgeräten und -verfahren für Messungen an ebenen Maßverkörperungen mit eindimensionalen Strukturteilungen
  • Kalibrierungen und Untersuchungen an hochpräzisen Strichteilungen, inkrementellen Messsystemen, Messtastern und Laserinterferometern
  • Entwicklung von Messverfahren zur Bestimmung der Geradheit von Strukturteilungen auf ebenen Substraten
  • Kalibrierung des thermischen Ausdehnungskoeffizienten von stabförmigen Messobjekten

Kontakt

Leitung

Dr. Jens Flügge
Tel.: +49 531 592-5261
Fax: +49 531 592-5205
E-Mail: Jens Flügge

Sekretariat

Christina Müller
Tel.: +49 531 592-5201
Fax: +49 531 592-5205
E-Mail: Christina Müller

Anschrift

Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Arbeitsgruppe 5.21
Bundesallee 100
38116 Braunschweig

© Physikalisch-Technische Bundesanstalt, letzte Änderung: 2010-03-11,  Seite drucken DruckansichtPDF-Export PDF